用干涉法检查工件表面平整度的原理

 薄膜干涉把金属丝圆环在肥皂液里蘸一下，环上就形成一层肥皂液薄膜．用单色光照射薄膜，薄膜上就产生明暗相间的干涉条纹

产生这种现象是由于照射到膜上的光会从膜的前表面和后表面分别反射回来，形成两列波（分别如图中的实线和虚线所示），这两列波是由同一入射波产生的，因此频率相同，相差恒定，能够产生干涉．竖立的肥皂薄膜在重力作用下成为上薄下厚的楔形，在薄膜的某些地方，反射回来的两列波恰好波峰和波峰（或者波谷和波谷）叠加，光振动加强，产生亮条纹；在另外一些地方，恰好波峰和波谷叠加，光振动削弱，产生暗条纹．这就是薄膜干涉的原因．

肥皂泡在太阳光照耀下会出现彩色的条纹，也是由薄膜干涉产生的．白光中每种色光的波长不同，所以在薄膜某一厚度的地方，某一波长的反射光互相加强，就出现这种色光的亮纹；在另一厚度的地方，另一波长的反射光互相加强，就出现另一色光的亮纹．这样，在薄膜上就出现了不同颜色的条纹．检查精密零件的表面质量各种精密零件，例如光学元件，对表面加工的质量要求很高，一般精度要求在几分之一光波波长之内．这样的表面需要用干涉法来检验．如果被检查的表面是一个平面，可以在它的上面放一个透明的标准样板，并在一端垫一薄片，使样板的标准平面和被检查的平面间形成一个劈形的空气薄层（图6-5甲）．用单色光从上面照射，入射光从空气层的上下表面反射出两列光波，于是从反射光中就会看到干涉条纹．如果被测表面是平的，产生的干涉条纹就是一组平行的直线；如果被测表面某些地方不平，产生的干涉条纹就要发生弯曲（图6-5乙）．从干涉条纹弯曲的方向和程度还可以了解被测表面的不平情况．这种测量的精度可达10-6厘米．